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恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为()分布。
- A、高斯
- B、余误差
- C、指数
参考答案
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考题
下面那个判断不符合高斯扩散条件?( )A、x轴为正向平均风向,污染物浓度在y、z轴上的分布符合高斯分布
B、地面是足够粗糙的
C、源强是连续、均匀的
D、扩散过程中污染物的质量是守恒的
考题
多选题下列关于高斯烟羽模型的假设说法正确的是()A在整个的扩散空间中,风速是均匀变化的B污染物的浓度在y,z轴上都是正态高斯分布C在扩散过程中污染物的质量是变化的D污染源的源强是连续的、均匀的
考题
填空题扩散的目的是为了实现对半导体掺杂,杂质扩散的深度与()有关,服从()。杂质扩散通常分为等表面浓度扩散,也(),和固定杂质总量扩散,也称()。预淀积的分布是()函数,再分布扩散的杂质呈()函数分布。
考题
填空题常规平面工艺扩散工序中的恒定表面源扩散过程中,杂质在体内满足()函数分布。常规平面工艺扩散工序中的有限表面源扩散过程中,杂质在体内满足()函数分布。
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