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填空题
在外延工艺中,如果膜和衬底材料(),例如硅衬底上长硅膜,这样的膜生长称为();反之,膜和衬底材料不一致的情况,例如硅衬底上长氧化铝,则称为()。

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考题 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于()A、体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工B、体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工C、体刻蚀加工可获得高纵横比的结构,而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构

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考题 判断题世界上第一块集成电路是用硅半导体材料作为衬底制造的。A 对B 错

考题 单选题按照衬底材料不同,硅光电二极管分为2CU和2DU两种系列。它们主要有两个不同点:请选择正确的答案()A 2CU是以N-Si为衬底,2DU是以P-Si为衬底;2CU型管还设了一个环极;B 2CU是以P-Si为衬底,2DU是以N-Si为衬底,2CU型管还设了一个环极;C 2CU是以N-Si为衬底,2DU是以P-Si为衬底,2DU型管还设了一个环极;D 2CU是以P-Si为衬底,2DU是以N-Si为衬底,2DU型管还设了一个环极。

考题 单选题化学气相淀积SiO2与热生长SiO2相比较,下面哪些说法是正确的:()。  1.热生长SiO2只能在Si衬底上生长; 2.CVD SiO2可以淀积在硅衬底上,也可以淀积在金属、陶瓷、及其它半导体材料上; 3.CVD SiO2,衬底硅不参加反应; 4.CVD SiO2,温度低。A 1、2B 2、4C 1、4D 1、2、4E 1、2、3、4

考题 判断题CVD是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。A 对B 错

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