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问答题
异质外延对衬底和外延层有什么要求?

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考题 利用外延生长技术在衬底上形成所需的外延层后,还要经过什么工艺,才能形成一颗颗独立的LED芯片?

考题 LED地材料制备包括什么?() A.外延片地制备B.衬底材料地制备C.外延片地生长D.衬底材料地生长

考题 外延生长方法比较多,其中主要的有()外延、()外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、()、固相外延等。

考题 硅外延生长工艺包括()。A、衬底制备B、原位HCl腐蚀C、生长温度,生长压力,生长速度D、尾气的处理

考题 什么是外延层?为什么硅片上要使用外延层?

考题 延生长方法比较多,其中主要的有()外延、()外延、金属有机化学气相外延、()外延、原子束外延、固相外延等。

考题 外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。

考题 LED的材料制备包括什么()。A、外延片的制备B、衬底材料的制备C、外延片的生长D、衬底材料的生长

考题 目前LED产业链主要包括()。A、衬底制造B、外延及芯片制造C、封装D、应用

考题 什么是固相外延(SPE)及固相外延中存在的问题?

考题 判断题外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,分为同质外延和异质外延两大类。A 对B 错

考题 填空题根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为:()、()、()。

考题 填空题在外延工艺中,如果膜和衬底材料(),例如硅衬底上长硅膜,这样的膜生长称为();反之,膜和衬底材料不一致的情况,例如硅衬底上长氧化铝,则称为()。

考题 判断题高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。A 对B 错

考题 问答题硅气相外延工艺采用的衬底不是准确的晶向,通常偏离(100)或(111)等晶向一个小角度,为什么?

考题 问答题什么叫做分子束外延?什么叫做同质外延?什么叫做异质外延?

考题 问答题分子束外延生长有什么特点?

考题 问答题什么是外延层?为什么硅片上要使用外延层?

考题 问答题什么是液相外延、气相外延和分子束外延?

考题 判断题外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。A 对B 错

考题 问答题什么叫做外延?外延有哪些特点?

考题 填空题砷化镓膜材料主要通过外延技术制备。主要外延方法有()外延、液相外延和()外延

考题 判断题通常称在低阻衬底材料上生长高阻外延层的工艺为正向外延,反之称为反向外延。A 对B 错

考题 问答题解释:同质外延、异质外延。

考题 名词解释题异质外延

考题 问答题在双极集成电路和MOS集成电路工艺中,为什么都要用外延层?

考题 问答题什么是外延层,为什么在硅片上使用它?