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下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用()

A.电子束

B.离子束

C.激光束

D.超声波

E.等离子体


参考答案

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考题 光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()A、电子束曝光技术B、离子束曝光技术C、X射线曝光技术

考题 下列特种加工方法中,不能加工陶瓷、玻璃、宝石等的是()A、电火花加工B、电解加工C、激光加工D、超声加工E、水射流加工F、电子束加工G、离子束加工

考题 下列特种加工方法中,不属于高能束加工范畴的是()A、激光加工B、电火花加工C、电子束加工D、离子束加工E、水射流加工F、电解加工

考题 下列特种加工方法中,利用电化学反应原理进行加工的是()。A、电火花加工B、电解加工C、激光加工D、超声加工E、水射流加工F、电子束加工G、离子束加工

考题 下列特种加工方法中,只能加工导电材料的是()A、电火花加工B、电解加工C、激光加工D、超声加工E、水射流加工F、电子束加工G、离子束加工

考题 单选题下列加工方法中,利用束流轰击工件表面,在工件表面添加磷硼制作P/N结的是()A 激光加工B 离子束加工C 超声加工D 电子束加工

考题 单选题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()。A a.离子束刻蚀、激光刻蚀B b.干法刻蚀、湿法刻蚀C c.溅射加工、直写加工

考题 单选题加工弯孔、曲面,可以采用的工艺是()A 激光B 电子束C 等离子体D 超声加工

考题 单选题光刻加工的工艺过程为:()A ①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗B ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散C ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

考题 单选题下列加工工艺中,利用金属离子阴极沉积方法来进行成形加工的方法是()A 离子束加工B 电解加工C 等离子体加工D 电刷镀

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考题 多选题下列特种加工方法中,只能加工导电材料的是()A电火花加工B电解加工C激光加工D超声加工E水射流加工F电子束加工G离子束加工

考题 单选题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()。A 电子束曝光技术B 离子束曝光技术C X射线曝光技术

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