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单选题
光刻加工的工艺过程为：（）
A

①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗

B

①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散

C

①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

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