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法布利干涉仪一种极灵敏的位置和长度测量装置，它是能用于现代科学的最灵敏的位移测量装置之一。

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考题 测量装置是指位置和速度的装置，它是实现（）的必要装置。A、主轴B、进给速度闭环控制C、进给速度控制D、进给位置闭环控制E、进给位置开环控制
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考题 用万能工具显微镜测量时，间隙对线法适用于（）测量。A、长度B、形状C、角度D、位置
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考题 激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点，但测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。
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考题 用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和（）3部分。A、主轴箱B、直线反射镜C、仪器底座D、工作台
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考题 激光干涉仪虽定位精度高，但因测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。
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考题 激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点，但测量长度受限制，故仅适用于小型坐标铿床。
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考题 干涉仪主要用于（）测量。
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考题 用于长度测量的激光干涉仪由激光头、干涉仪和（）三部分组成。
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考题 激光干涉仪主要用于长度测量，不能用作大型机床的精确定位以及精密机床位置精度的检测等。
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考题 填空题高密度电阻率法是集（）和（）法于一体的一种多装置、多极距的组合测量方法，它具有一次布极即可进行多装置数据采集以及通过求取比值参数而能突出异常信息的特点。
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