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判断题
离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。
A

对

B

错

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考题 填空题离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）效应、（）效应和（）效应。
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考题 判断题镜片镀减反射膜在高于200度的真空环境下，利用离子束轰击的真空镀膜技术。A 对B 错
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考题 单选题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A 电子束曝光技术B 离子束曝光技术C X射线曝光技术
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