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常见的化学气相淀积方法有

A.APCVD

B.LPCVD

C.PECVD

D.HDPCVD


参考答案和解析
APCVD;LPCVD;PECVD;HDPCVD
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考题 问答题物理气相淀积主要有哪三种技术?

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