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问答题
什么是干法刻蚀?什么是湿法刻蚀?比较二者的优缺点。
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考题
判断题干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法,湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件,例如大于3微米。A
对B
错
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