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多晶硅薄膜的间接制备法是指先制备得到 晶硅薄膜,再通过不同的晶化技术,将其晶化为多晶硅薄膜。


参考答案和解析
液相外延(LPE)法;化学气相沉积( CVD )法;等离子增强化学气相沉积( PECVD )法;低压化学气相沉积( LPCVD )
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