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离子注入的沟道效应

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考题 离子注入
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考题 问答题扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
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考题 填空题（）称为沟道效应，可以用（）、（）和（）来避免。其中，（）是最常用的方法。
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考题 名词解释题沟道效应
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