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多选题
对于CMOS晶体管,要得到良好受控的阈值电压,需要控制()等工艺参数。
A

氧化层厚度;

B

沟道中掺杂浓度;

C

金属半导体功函数;

D

氧化层电荷。


参考答案

参考解析
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