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下面几种方法中哪种可以测量铝氧化膜厚度?()
A、热震法
B、金相测厚法
C、计时液流法
D、涡流测厚仪
参考答案
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考题
IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象:A.在淀积的铝膜中掺入约1%Cu;B.在淀积的铝膜中掺入约1%Si;C.在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜;D.在铝膜表面覆盖Si3N4。
考题
55、几种测量二氧化硅厚度的方法中,最精确的是: 。
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