考题
下列切削加工中属于超精密加工的是( )。
A.金刚石超精密车削B.光刻加工C.超声研磨D.激光加工
考题
微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。
A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工
考题
可用光刻－电铸－模铸复合成形技术加工的材料有下面那种?()
A、金属B、陶瓷C、玻璃D、塑料
考题
LIGA (光刻)工艺制造微电子芯片属于精密特种加工。()
此题为判断题(对，错)。
考题
光刻电铸的最大加工厚度为（）μm。A、300B、400C、500D、600
考题
下列切削加工中属于超精密加工的是（）。A、金刚石超精密车削B、光刻加工C、超声研磨D、激光加工
考题
晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。A、除去光刻胶中剩余的溶剂B、增强光刻胶对晶片表面的附着力C、提高光刻胶的抗刻蚀能力D、有利于以后的去胶工序E、减少光刻胶的缺陷
考题
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
考题
粗加工复合循环指令G72主要用于加工，G76主要用于加工（）。
考题
光纤是用（）作为主要原料的一种透明度很高的介质材料，广泛用于通信和传感器。A、光刻玻璃B、石英玻璃C、光刻硅D、钛铝合金
考题
填空题光学光刻机主要有（）等几种。非光学光刻机主要有（）。
考题
单选题微传感器的加工工艺不包括（）。A
光刻技术B
HARQ技术C
半导体掺杂技术D
LIGA技术
考题
问答题简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。
考题
单选题下列加工方法，能够进行光刻加工的加工方法是（）A
电子束加工B
电解加工C
电火花加工D
超声加工
考题
判断题电子束光刻主要用于制作掩膜。A
对B
错
考题
判断题先进集成电路加工中，主要采用投影式光刻曝光技术。A
对B
错
考题
填空题光刻包括两种基本的工艺类型：负性光刻和（），两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同，前者是（），后者是（）。
考题
问答题什么是光刻，光刻系统的主要指标有那些？
考题
问答题简述接触式光刻、接近式光刻及投影式光刻的优缺点。
考题
填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
考题
单选题光刻加工主要用于（）。A
加工超硬材料B
加工工程陶瓷C
制作集成电路D
制作微型模具
考题
问答题什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
考题
问答题光刻加工技术的基本过程通常包括哪些步骤？
